Sirkuit terintegrasi yang dibuat pada permukaan chip semikonduktor juga disebut sirkuit terintegrasi film tipis. Jenis lain dari sirkuit terintegrasi film tebal (hybrid integrated circuit) adalah sirkuit miniatur yang terdiri dari perangkat semikonduktor independen dan komponen pasif yang diintegrasikan ke dalam substrat atau papan sirkuit.
Dari tahun 1949 hingga 1957, Werner Jacobi, Jeffrey Dummer, Sidney Darlington, Yasuo Tarui mengembangkan Prototipe, tetapi sirkuit terpadu modern ditemukan oleh Jack Kilby pada tahun 1958. Untuk ini, ia memenangkan Hadiah Nobel dalam Fisika pada tahun 2000, tetapi Robert Noyce, yang juga mengembangkan sirkuit terpadu modern dan praktis pada saat yang sama, meninggal pada awal 1990.